微粒子Particle监控系统
一、连续式real time监控系统   量测方法:将Particle Counter sensor […]
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一、连续式real time监控系统

  量测方法:将Particle Counter sensor布置于重要监控点,架设系统24小时量测落尘数值。 优点: 1.精准掌握环境变化,提供实时资讯,可立即反应处理 2.纪录所有数值,提供历史数据 曲线图等,可追踪产品良率及境变化之关系 3.软体及画面可因应需求客制化。 缺点 1.建置成本高,每一监控点皆需使用一个sensor               2.扩建点时,工程成本较高  

量测粒

0.5~10 um(可最多选择四种粒径)

每分钟1立方英尺 (28.3 LPM)

尺寸

10.7 x 5.1 x 9.4公分

通讯模

Modbus TCP/ASCII/RTU

Laser Diode

浓度侦测限

500,000 particles/cubit feet

100~240Vac 24   VDC 或POE

重量(需外加Pump)

0.77

应用

Real Time监控Particle状况

  image.png  

二、 Manifold轮动式量测监控系统

 

 

量测方法:将Particle Counter接manifold ,再接管至各监控点量 测落尘数值。

 

优点                        

 

1.建置成本合理,以轮动方式达到密集而持续之监控,无须另以人工量测。

 

2.纪录所有数值,提供历史数据曲线图等,可追踪产品良率及境变化之关系。

 

3.软体及画面可因应需求客制化。

 

缺点;

 

1.量测点位愈多,则每一监控点之平均量测时间愈少。

 

2.各量测点与manifold主机间有距离之限制 (建议不超过37.5公尺) 。

 

 

量测粒

0.5~10 um(可最多选择四种粒径)

每分钟1立方英尺 (28.3 LPM)

16.9 x 23.2 x 12.1公分

通讯模

Modbus TCP/ASCII/RTU

Laser Diode

浓度侦测限

500,000   particles/cubit feet

100~240Vac 24 VDC POE

2.9

Real Time监控Particle

image.png

 

三、混合式监控系统

量测粒径 (um)

0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0,10

每分钟1立方英尺 (28.3 LPM)

24.1 x 20.3 x 25.9公分

通讯模

RS-232,RS-485/Modbus

Laser Diode

浓度侦测限

500,000   particles/cubit feet

显示

5.7彩色触控

100~240 Vac

5.9

选购配

温湿度、风速、压力计、电池 印表

  image.png  

四、CAA多点监控系统

CAA系列设备利用设备中所含的工业计算机搭配图形化接口进行控制。 量测结果显示于显示器上并同时将量测备份于数据库中。 数据库内的数据亦可经由通讯传输协议传送到其它的监控系统中。

取样管

32

3.0 CFM (84.9 LPM) per port

21.6” x12” x 12.75”

管径大

1/2” OD   3/8 ID

取样管长

125 feet (37.5公尺)

管路交叉污

低于 0.01%

24 VDC

7.3

image.png